| 一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术 |
| |
| 引用本文： | 李霖.一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术[J].电子工业专用设备,2007,36(4):22-24. |
| |
| 作者姓名： | 李霖 |
| |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第45研究所,北京东燕郊,101601 |
| |
| 摘 要： | 楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一,它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面,提供给对准工作台进行对准操作。对涉及该技术的气浮轴承设计、小孔截流技术、材料的选择、加工及处理等作了详细的论述。
|
| 关 键 词： | 楔形误差补偿 气浮轴承 小孔节流 |
| 文章编号： | 1004-4507（2007）04-0022-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-01 |
The Wedge Error Compensation Technology Used in the Double Sides Mask Aligner |
| |
| LI Lin.The Wedge Error Compensation Technology Used in the Double Sides Mask Aligner[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2007,36(4):22-24. |
| |
| Authors: | LI Lin |
| |
| Affiliation: | The 45th Research Institute of CETC, Beijing East Yanjiao 101601, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | WEC Air bearing Cutting-airflow pore |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
