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| Ⅲ、Ⅴ族杂质对硅中热施主性质的影响 | |
| 作者姓名： | 高小平 周洁 许振嘉 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所(高小平，周洁)，中国科学院半导体研究所(许振嘉) |
| 摘 要： | 首次利用导纳谱技术研究了450℃处理后的CZ-Si.导纳谱、DLTS和霍耳测量的结果表明:热施主有四个施主能级,即 E_c-(330～280)meV、E_c- 120meV、E_c-52meV和E_c- 30 meV.同时证明:Ⅲ族和Ⅴ族杂质对这些能级的影响不同.对Ⅲ族杂质增强热施主形成的效应和目前已报道的有关热施主能级的分歧进行了详细研究和讨论.本文指出,用一个统一微观模型说明热施主的各种性质似乎不妥,并对这四个施主能级可能的缺陷结构进行了简单探讨. |
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