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以切克劳斯基方法生长中的晶体温度分布的理论研究
引用本文:
刘旭东.以切克劳斯基方法生长中的晶体温度分布的理论研究[J].微纳电子技术,1973(8).
作者姓名:
刘旭东
摘 要:
通过对不同温度下各个表面的热辐射和气体对流的相互转换的讨论,计算解决从熔体生长晶体的热转换问题。当晶体在真空中生长时,热辐射的相互转换大大地影响生长晶体的温度分布;当晶体在气体中生长时,气体对流对晶体温度分布起主导作用。
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