| 集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析 |
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| 引用本文： | 齐虹,王明伟,丁文波,李玉玲,王晓光. 集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析[J]. 传感器与微系统, 2016, 0(8). DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)08-0030-03 |
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| 作者姓名： | 齐虹 王明伟 丁文波 李玉玲 王晓光 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响.同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析,并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证,结果表明:该结构的敏感芯片使加速度传感器灵敏度能够达到10 mV/gn以上,非线性优于2％.
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| 关 键 词： | 集成加速度传感器 敏感芯片 结构参数 |
Performance influencing factors and simulation analysis of sensitive chip of integrated acceleration sensor |
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| QI Hong,WANG Ming-wei,DING Wen-bo,LI Yu-ling,WANG Xiao-guang. Performance influencing factors and simulation analysis of sensitive chip of integrated acceleration sensor[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2016, 0(8). DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)08-0030-03 |
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| Authors: | QI Hong WANG Ming-wei DING Wen-bo LI Yu-ling WANG Xiao-guang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | integrated acceleration sensor sensitive chip structure parameter |
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