| 三步非定步长相移轮廓术研究 |
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| 引用本文： | 高成勇 王蕴珊 周灿林. 三步非定步长相移轮廓术研究[J]. 光电子．激光, 2004, 15(8): 967-970 |
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| 作者姓名： | 高成勇 王蕴珊 周灿林 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院,济南,250061 |
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| 摘 要： | 移相式相位轮廓术的关键在于相移量的检测、提取。只有正确地提取出相移量才能提高测量的精度，降低测量系统的复杂性。在对非定步长相移轮廓术研究的基础上，提出了一种新的投影栅相位测量方法——三步非定步长相移法，只需相移光栅两步并获取66幅条纹图，即可完成非定步长解调相位的工作。该方法无须精确的相移器，计算过程相对简单并且速度快。并且给出了与Kong-Kim算法实验及计算结果的比较，证明该方法具有较高的精度。
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| 关 键 词： | 非定步长 轮廓 相移器 投影栅 精度 相位测量 精确 相移光栅 解调 条纹图 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)08-0967-04 |
Study of the Three-Undecided Step Length Phase Shifting Technique for Phase Measurement Profilometry |
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| GAO Cheng-yong,WANG Yun-shan,ZHOU Can-lin. Study of the Three-Undecided Step Length Phase Shifting Technique for Phase Measurement Profilometry[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2004, 15(8): 967-970 |
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| Authors: | GAO Cheng-yong WANG Yun-shan ZHOU Can-lin |
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| Affiliation: | GAO Cheng-yong~*,WANG Yun-shan,ZHOU Can-lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase measurement profilometry grating projection phase shifting algorithm |
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