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| 一种基于惯性压电马达的扫描隧道显微镜 | |
| 摘 要： | 本文描述了一款结构简单紧凑、可在强磁场和极低温条件下工作的扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope,STM)系统.首先利用环氧树脂胶将4个氮化硅圆球和铍铜弹簧片对称粘接在绝缘导轨上,通过挤压的方式固定位于其中心的滑杆,然后将绝缘导轨粘接固定于压电扫描管的一端.借助于滑杆的惯性,将压电扫描管的4个外电极接地,给压电扫描管的内电极施加一路脉冲电压信号即可实现中心滑杆的步进,控制扫描探针向样品的逼近.逼近完成后,通过向压电扫描管的4个外电极分别施加两路频率不同的推挽电压信号即可实现样品表面的XY扫描,通过压电扫描管的内电极对扫描探针-样品间距进行PID反馈调节控制.通过扫描Au(111)获得的清晰原子图像,验证了本STM系统的高稳定性和高精度.整个STM镜体外径尺寸只有15 mm,长度为25 mm,非常适合在极低温和强磁场等对STM尺寸有限制的极端环境中使用. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |