| 类金刚石薄膜的电子结构及光学性质 |
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| 引用本文： | 杨兵初,聂国政,李雪勇. 类金刚石薄膜的电子结构及光学性质[J]. 中国有色金属学报, 2006, 16(6): 989-993 |
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| 作者姓名： | 杨兵初 聂国政 李雪勇 |
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| 作者单位： | 中南大学物理与科学技术学院,长沙,410083 |
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| 摘 要： | 以直流磁控溅射制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,采用俄歇电子能谱(AES)分析薄膜的化学键和电子结构。将参数D定义为俄歇电子能谱(AES)中最大正峰和最低负峰之间的距离,用俄歇电子能谱中的D值求得不同沉积气压条件下制备的薄膜的sp2键的百分含量和sp2键与sp3键比率。采用紫外可见光透射光谱(UV-Vis)分析了薄膜的光吸收特性和光学带隙。结果表明:沉积气压低于0.8 Pa时,sp2键的百分含量随沉积气压的增大而减小;薄膜的光学性质受光学带隙的直接影响。
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 光学性质 电子结构 俄歇电子能谱 |
| 文章编号： | 1004-0609（2006）06-0989-05 |
| 收稿时间： | 2005-10-17 |
| 修稿时间： | 2006-03-13 |
Electron structure and optical property of diamond-like carbon |
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| YANG Bing-chu,NIE Guo-zheng,LI Xue-yong. Electron structure and optical property of diamond-like carbon[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2006, 16(6): 989-993 |
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| Authors: | YANG Bing-chu NIE Guo-zheng LI Xue-yong |
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| Affiliation: | School of Physics Science and Technology, Central South University, Changsha 410083, China |
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| Keywords: | diamond-like carbon optical property electron structure AES |
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