Mobile产品异物产生机理及改善研究 |
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引用本文: | 杨德波,钟野,毕芳,樊明雷,张志聪,熊奇,罗春,李伟.Mobile产品异物产生机理及改善研究[J].液晶与显示,2019(8). |
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作者姓名: | 杨德波 钟野 毕芳 樊明雷 张志聪 熊奇 罗春 李伟 |
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作者单位: | 重庆京东方光电科技有限公司 |
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摘 要: | 异物是TFT-LCD制程常见的顽固缺陷,在高世代线(8.5代线)以摩擦工艺生产mobile产品时不良发生率更高。本文针对8.5代线生产Mobile产品时所产生的异物进行原因及机理分析,发现该异物来源于摩擦制程,产生机理为:摩擦辊在玻璃基板上摩擦时,布毛容易刮起配向膜而产生细小的PI碎屑。为此本文从摩擦强度、单辊摩擦和光配向工艺进行实验,实验结果显示:对于改善细小的PI碎屑最优工艺为光配向,异物不良由2.34%降至0.41%。在最优的光配向工艺条件下继续优化清洗机条件:在高压气液混合喷射(HPMJ)的压力8 MPa、清洗机速度6 600mm/min和风刀喷淋(AK Shower)打开条件下异物不良降至0.16%,改善效果明显。
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