| 高分辨率平板电脑产品中彩膜曝光基台色斑不良的改善 |
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| 引用本文： | 蒋迁,塔拉,薛凤明,章旭,孟令剑,王昆,周鹏,王旭.高分辨率平板电脑产品中彩膜曝光基台色斑不良的改善[J].液晶与显示,2019(6):537-542. |
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| 作者姓名： | 蒋迁 塔拉 薛凤明 章旭 孟令剑 王昆 周鹏 王旭 |
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| 作者单位： | 北京京东方显示技术有限公司 |
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| 摘 要： | 针对彩膜小尺寸高分辨率平板电脑产品的曝光基台色斑(Stage Mura)不良,对异常区域各项特性进行分析,发现Mura区域的黑矩阵(BM)的关键线宽(CD)和坡度角形貌与正常区存在异常。推测原因为曝光时,不良区域与正常区域曝光温度和曝光间隙存在差异,并进行试验验证。将曝光温度和曝光间隙进行调整试验后,使用扫描电子显微镜(SEM)分析黑矩阵关键线宽(BM CD)和坡度角,确认改善措施能减少正常区域和Mura区域BMCD和坡度角差异,不良发生率由7.2%降低为1.4%。进一步调整BM膜厚,从整体上弱化正常区域和Mura区域的透过率差异,最终基台色斑不良率降低至0.7%。
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| 关 键 词： | 彩膜 曝光 色斑 线宽 坡度角 |
Improvement of stage Mura in high PPI TPC color filter products |
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| JIANG Qian,TA La,XUE Feng-ming,ZHANG Xu,MENG Ling-jian,WANG Kun,ZHOU Peng,WANG Xu.Improvement of stage Mura in high PPI TPC color filter products[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2019(6):537-542. |
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| Authors: | JIANG Qian TA La XUE Feng-ming ZHANG Xu MENG Ling-jian WANG Kun ZHOU Peng WANG Xu |
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| Affiliation: | (Beijing BOE Display Technology Co.,Ltd., Beijing 100176,China) |
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| Abstract: | JIANG Qian;TA La;XUE Feng-ming;ZHANG Xu;MENG Ling-jian;WANG Kun;ZHOU Peng;WANG Xu(Beijing BOE Display Technology Co.,Ltd., Beijing 100176,China) |
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| Keywords: | color filter exposure Mura CD tape angle |
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