| 石英管型MWPCVD法制备的纳米针状结构碳膜的场发射特性 |
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| 引用本文： | 顾广瑞,吴宝嘉,金逢锡,金哲,李哲奎. 石英管型MWPCVD法制备的纳米针状结构碳膜的场发射特性[J]. 液晶与显示, 2007, 22(5): 535-540 |
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| 作者姓名： | 顾广瑞 吴宝嘉 金逢锡 金哲 李哲奎 |
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| 作者单位： | 延边大学,理学院,吉林,延吉,133002 |
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| 摘 要： | 利用石英管型微波等离子体化学气相沉积装置,在Si基板上制备了具有纳米针状结构的碳膜。场发射特性测试表明,纳米针状结构碳膜具有良好的场发射特性,阈值电场为2.2V/μm,外加电场为9V/μm时,电流密度达到65mA/cm2。利用统计效应修改了Fowler-Nordheim(F-N)模型,成功地解释了在低电场区域的场发射机理。但是利用修改的F-N模型,不能解释高电场区域的电流密度的饱和现象,这将有待于进一步研究。
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| 关 键 词： | 场发射 碳膜 纳米针 微波等离子体化学气相沉积 |
| 文章编号： | 1007-2780（2007）05-0535-06 |
| 收稿时间： | 2007-04-28 |
| 修稿时间： | 2007-05-27 |
Field Emission Properties of Nano-needle Carbon Films Deposited by Quartz-type MWPCVD |
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| GU Guang-rui,WU Bao-jia,JIN Feng-xi,JIN Zhe,LI Zhe-kui. Field Emission Properties of Nano-needle Carbon Films Deposited by Quartz-type MWPCVD[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2007, 22(5): 535-540 |
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| Authors: | GU Guang-rui WU Bao-jia JIN Feng-xi JIN Zhe LI Zhe-kui |
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| Affiliation: | College of Science and Engineering, Yanbian University, Yanji 133002, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | field emission carbon films nano-needle mircrowave plasma chemical vapor deposition |
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