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| 前驱体通气时间对原子层沉积氧化锌薄膜的影响 | |
| 引用本文： | 马铭辰,王国政,王蓟.前驱体通气时间对原子层沉积氧化锌薄膜的影响[J].微纳电子技术,2022(3):231-235,241. |
| 作者姓名： | 马铭辰 王国政 王蓟 |
| 摘 要： | 建立了反应腔室模型,模拟分析了原子层沉积(ALD)过程中前驱体质量分数随其通气时间的变化趋势.采用ALD法制备了ZnO薄膜,采用原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)对薄膜进行了表征,研究了不同二乙基锌通气时间下ZnO薄膜的表面形貌和厚度均匀性.模拟结果表明,前驱体通气时间越长,前驱体在整个反应腔室内的分布越... |
| 关 键 词： | 原子层沉积(ALD) 流体分析 ZnO薄膜 表面粗糙度 薄膜均匀性 |