| 纳机电系统阻尼及噪声研究进展 |
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| 引用本文： | 王平,黄庆安,于虹. 纳机电系统阻尼及噪声研究进展[J]. 电子器件, 2004, 27(3): 527-532 |
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| 作者姓名： | 王平 黄庆安 于虹 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金资助项目 ( 5 0 3 2 5 5 1 9) |
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| 摘 要： | 在微机电系统(MEMS)领域，自1989年Tang等人首次提出横向多晶硅谐振器结构以来，有关谐振器振动过程中阻尼问题的研究一直就是影响和推进谐振器发展的一个主要方面。近几年，随着器件尺寸的进一步缩小，器件尺寸进入亚微米级甚至是纳米级领域，阻尼及噪声问题更是成为影响器件工作特性的一个重要因素。本文就近几年微机电系统和纳机电系统中，相关MEMS谐振器以及微悬臂梁的阻尼和噪声问题的研究，作了一些介绍和分析。
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| 关 键 词： | 微机电系统 纳机电系统 阻尼 噪声 品质因数Q 能量耗散 |
| 文章编号： | 1005-9490(2004)03-0527-06 |
Research and Progress of Damping and Noise in NEMS |
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| WANG Ping,HUANG Qing-an,YU Hong. Research and Progress of Damping and Noise in NEMS[J]. Journal of Electron Devices, 2004, 27(3): 527-532 |
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| Authors: | WANG Ping HUANG Qing-an YU Hong |
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| Abstract: | In the area of Microelectromechanical System(MEMS), since lateral driven polysilicon resonator structure was first presented by Tang et al. in 1989, the study of damping has been one of the most important aspects. In recent years, with the miniaturization of the dimension of the device, MEMS devices are scaled to submicron even nano-dimensions. The damping and noise have become an important factor that limits the function of the device. This paper presents a brief introduction and analysis about recent researches on the damping and noise in MEMS/NEMS resonators and micro-cantilevers. |
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| Keywords: | microelectromechanical system(MEMS) nanoelectromechanical system(NEMS) damping noise quality factor(Q) energy disspation |
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