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| 化学气相沉积热解炭机理及其化学动力学 | |
| 引用本文： | 杨昕,陈惠芳,潘鼎.化学气相沉积热解炭机理及其化学动力学[J].炭素,2002(2):7-10. |
| 作者姓名： | 杨昕 陈惠芳 潘鼎 |
| 作者单位： | 东华大学材料学院,上海,200051 |
| 摘 要： | 综述了化学气相沉积热解炭的沉积机理、化学动力学的发展状况及一些基本理论问题，着重介绍了K.J.Huettinger等提出的沉积模型。 |
| 关 键 词： | 化学动力学 化学气相沉积 CVD 热解炭 沉积机理 沉积动力学 沉积模型 |
| 文章编号： | 1001-8948(2002)02-0007-04 |
MECHANISM AND KINETICS OF CVD OF PYROLYTIC CARBON |
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| YANG Xin,CHEN Hui fang,PAN Ding.MECHANISM AND KINETICS OF CVD OF PYROLYTIC CARBON[J].Carbon,2002(2):7-10. | |
| Authors: | YANG Xin CHEN Hui fang PAN Ding |
| Abstract: | The development and some fundamentals of mechanism and kinetics of CVD of pyrolytic carbon are reviewed in this paper.Special emphasis is given to the deposition model proposed by K.J.Huettinger et al. |
| Keywords: | Chemical Vapor Deposition(CVD) Pyrolytic Carbon Pyrolysis Mechanism Pyrolysis Kinetics Deposition Model |
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