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光致抗蚀剂的涂敷与干燥机

摘要：	在半导体片子上涂敷光致抗蚀剂并使其干燥的工艺中,尤其是用自动化的机构处理时,把片子从输入台传送到涂胶台、最后到烘烤台、分配光致抗蚀剂于片子表面的臂等各机械要有相当高的清洁度,这
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