| 纳米硬质薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 陶斯武 雷诺 曲选辉. 纳米硬质薄膜的研究进展[J]. 稀有金属与硬质合金, 2005, 33(3): 37-41,55 |
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| 作者姓名： | 陶斯武 雷诺 曲选辉 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院新金属材料国家重点实验室,北京100083 |
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| 摘 要： | 介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景，综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展，对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。
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| 关 键 词： | 纳米硬质薄膜 硬度 纳米多层膜 纳米复合膜 |
| 文章编号： | 1004-0536（2005）03-0037-05 |
| 收稿时间： | 2004-11-24 |
| 修稿时间： | 2004-11-242005-06-07 |
Development of Nano - hard Thin Film |
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| Tao SiWu;Lei Nuo;Qu XuanHui. Development of Nano - hard Thin Film[J]. Rare Metals and Cemented Carbides, 2005, 33(3): 37-41,55 |
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| Authors: | Tao SiWu Lei Nuo Qu XuanHui |
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| Abstract: | The concept, design superhard rnechanisms, synthesis technologies and processes, properties, applications, and advancement of nano - hard film including nano - multilayers and nano - composite films were reviewed in this paper. Finally the trends in developing of nano - hard film were outlined. |
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| Keywords: | nano - hard film hardness nano - multilayer film nano -composite film |
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