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| 0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究 | |
| 作者姓名： | 王继红 唐小平 |
| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所!成都610209 |
| 摘 要： | 本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法 ,对影响气浮工件台重复定位精度的各种因素做了详细的介绍 |
| 关 键 词： | 重复投影光刻机 气浮工件台 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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