冷等离子体以硅粉薄层纯化的动力学分析

利用提高硅粉薄层温度的方法，使冷等离子体对硅提纯达４Ｎ（９９．９９％）本文用反应的方法分析提纯机理，建立必要的方程以探讨影响提纯的因素。