| 有限长单位脉冲响应滤波器在电子束电源系统中的应用 |
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| 引用本文： | 尹明 张玉林. 有限长单位脉冲响应滤波器在电子束电源系统中的应用[J]. 微细加工技术, 1998, 0(2): 10-13 |
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| 作者姓名： | 尹明 张玉林 |
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| 作者单位： | 山东工业大学电子束科研室 |
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| 摘 要： | 本文介绍了应用于亚微米电子束曝光机电源系统中的ＦＩＲ滤波器。在高稳定状态下提供严格的线性相位特性，使系统指标确保了０．１μｍ束斑的精度要求。
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| 关 键 词： | 电子束曝光机；滤波器；线性；相位 |
APPLICATION OF A FIR FILTER IN POWER SUPPLY OF E BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM |
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| Yin Ming Zhang Yulin. APPLICATION OF A FIR FILTER IN POWER SUPPLY OF E BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM[J]. Microfabrication Technology, 1998, 0(2): 10-13 |
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| Authors: | Yin Ming Zhang Yulin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | E beam lithography system Filter Linearity phase |
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