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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
用微波光电导谱仪测量p—n结少子扩散长度
作者姓名:
褚幼令
王宗欣
吴天福
作者单位:
复旦大学物理系,复旦大学电子工程系,复旦大学电子工程系 上海 200433,上海 200433,上海 200433
摘 要:
用微波光电导谱仪测量了一些pn结样品的微波光电导谱(MPCS),对于每一块样品光分别从p面和n面入射,因而可以测得不同的谱;讨论了从pn结的MPCS中计算p区、n区少子扩散长度的方法,并用计算机拟合得到这些样品的p区、n区少子扩散长度和表面复合速度等参数;由于是无接触测试,因此本方法可作为某些pn结器件制造工艺过程中寻找最佳工艺条件的一种监测手段。
关 键 词:
光电导谱仪 p-n结 测量 少子扩散
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