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| 真空设备的使用与维修 | |
| 作者姓名： | 赵沛振 吴益中 陈培华 |
| 作者单位： | 浙江省开化六○一厂(赵沛振，吴益中)，浙江省开化六○一厂(陈培华) |
| 摘 要： | 前言 真空技术是一门新兴的应用科学,它广泛地应用在原子能、空间模拟、可控热核反应、重工业、轻工业、农业及食品储藏等方面,尤其是在电子工业中的应用显得更为重要。从半导体材料的生产、电真空器件和半导体器件的制造都离不开真空技术。 在半导体材料的生产中,如果真空度不佳,其材料的含氧量含氮量就会增加,而大大降低材料的内在质量,严重的会引起氧化,以致报废。至于电真空器件,在生产过程中真空度不佳,将会导致电参量的改变,还会缩短使用寿命,甚至引起电击穿,如生产一只白炽灯泡,真空度没有达到要求,就会引起灯泡发黑,钨丝过早烧断;电… |
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