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| 真空设备的检漏 | |
| 引用本文： | 张伟,陈华锋,段成君. 真空设备的检漏[J]. 通用机械, 2006, 0(10): 52-54 |
| 作者姓名： | 张伟 陈华锋 段成君 |
| 作者单位： | 合肥通用机械研究院,安徽,230031 |
| 摘 要： | 介绍了真空检漏的常用方式，并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向、灵敏度分析及应用以及检漏方法，并总结了真空检漏的意义。 |
| 关 键 词： | 真空 泄漏率 检漏仪 检漏 |
| 收稿时间： | 2006-06-29 |
| 修稿时间： | 2006-06-29 |
Leak detection on the vacuum equipments |
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| Zhang Wei. Leak detection on the vacuum equipments[J]. General Machinery, 2006, 0(10): 52-54 | |
| Authors: | Zhang Wei |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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