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| 亚微米电子束曝光机数控电流源系统 | |
| 引用本文： | 徐群,张玉林.亚微米电子束曝光机数控电流源系统[J].电子学报,1993,21(11):104-104. |
| 作者姓名： | 徐群 张玉林 |
| 作者单位： | 青岛电业局调度处，山东工业大学电子束研究室，山东工业大学电子束研究室 青岛 266012，济南 250014，济南 250014 |
| 摘 要： | 对于亚微米级的电子束曝光机而言,电子光柱体电流源系统的自动化程度及各路电流源尤其是物镜电源的稳定度,对束斑的影响极大。为突破0.1μm的束斑,特研制了一种电流源系统,集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。 系统构成 该系统在结构上抛弃了传统的开环控制方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源。整个电流源系统由23个模块组成,其中20块电源板输出20路独立的电流;一块8255板作为IBM主机 |
| 关 键 词： | 电子束曝光机 数字控制 电流源 |
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