| 用纳米印刷技术制备微机械和微流体金属光栅器件 |
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| 引用本文： | 孙晓娟.用纳米印刷技术制备微机械和微流体金属光栅器件[J].光机电信息,2009,26(2):21-26. |
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| 作者姓名： | 孙晓娟 |
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| 摘 要： | 纳米印刷技术是一种制备大面积亚波长光栅的新技术。基于此光栅的滤光器具有光谱的特性。利用波长耦合分析法对光栅进行理论模拟，此模拟允许反射率取最大和最小值：利用微电子机械系统（MEMS）制备微流体和微机械光栅，这些光栅是制备可调滤光器和其他可选择波长器件的基本元件。这些可调器件通过改变光栅表面的折射率实现波长的选择。如果在光栅表面附着一层水膜。光栅共振波长可改变33％；如果在光栅表面覆盖石英。则共振波长从558nm改变到879nm，波长改变率高达58％。此外，大约有3种因素可改变单一波长的折射率。这些光栅器件在可调滤光器或光调节器方面有着重要的应用价值。
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| 关 键 词： | 光栅器件 印刷技术 微流体 微机械 制备 纳米 亚波长光栅 微电子机械系统 |
Micromechanical and Microfluidic Devices Incorporating Resonant Metallic Gratings Fabricated Using Nanoimprint Lithography |
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