| 改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究 |
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| 引用本文： | 王 宁,王 静,郑福卫,武玉民,侯保荣.改变过渡层碳靶功率在铜上沉积类金刚石膜的研究[J].石油化工高等学校学报,2015,28(3):91. |
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| 作者姓名： | 王 宁 王 静 郑福卫 武玉民 侯保荣 |
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| 作者单位： | ( 1. 青岛科技大学化工学院, 山东青岛2 6 6 0 4 2; 2. 中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室,
山东青岛2 6 6 0 7 1; 3. 青岛科技大学化学与分子工程学院, 山东青岛2 6 6 0 4 2) |
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| 基金项目： | 国家海洋腐蚀防护工程技术研究中心资助( 2 0 1 1 FU 1 2 5 X 1 3) 。 |
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| 摘 要： | 类金刚石膜具有硬度高、 摩擦系数低、 耐腐性强、 稳定性高等优点, 是提高铜耐腐性的理想材料, 但铜
与类金刚石膜之间的结合力差。通过制备T i xC y 过渡层, 采用磁控溅射物理气相沉积与化学气相沉积法, 通过改变
过渡层碳靶功率成功在铜基体上沉积类金刚石膜。并对金刚石膜进行拉曼光谱测试、 划痕实验和电化学实验分析。
结果表明, 所制备碳膜具有典型的类金刚石结构, 膜与基体之间的结合强度大, 过渡层碳靶溅射功率为2 0 0W 时所
制备的类金刚石膜对铜基体的保护作用最好。
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| 关 键 词： | 铜基体 类金刚石膜 拉曼光谱 划痕法 耐腐蚀性 |
| 收稿时间： | 2015-01-12 |
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