电场控制金属辅助化学腐蚀制备硅微纳米结构的研究

采用电场控制贵金属颗粒在单晶硅(111)上成功制备出111的硅微纳米结构。构建电场驱动下的硅微纳米结构制备模型,研究电场强度对腐蚀速率和两相电场对腐蚀方向的作用规律。验证电场控制腐蚀方向的可行性,得出优化的电场电流密度,为控制腐蚀方向,制备可控的硅微纳米结构提供新的方法和实验手段。