| 基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真 |
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| 引用本文： | 安鹏,苑伟政,张承亮.基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真[J].中国机械工程,2007,18(13):1518-1522. |
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| 作者姓名： | 安鹏 苑伟政 张承亮 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 基于一维集中参数模型建立了微细加工电容式传声器振膜的动力学控制方程，并确定了方程中各参数的表达式。根据控制方程，在Saber平台上采用硬件描述语言开发了参数化组件。将该组件与传声器的检测电路模型结合起来实现了传声器的系统级建模，进行了时域、频域仿真，以及不同偏置电压下的输出电容、静电拉入电压的计算。将仿真结果与文献实测数据以及有限元分析结果相比较，验证了该组件的有效性。
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| 关 键 词： | 电容式传声器 系统级 参数化组件 |
| 文章编号： | 1004-132X（2007）13-1518-05 |
| 修稿时间： | 2006-04-26 |
System Level Modeling and Simulation of Micromachined Capacitive Microphone Based on Parametric Element |
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| An Peng,Yuan Weizheng,Zhang Chengliang.System Level Modeling and Simulation of Micromachined Capacitive Microphone Based on Parametric Element[J].China Mechanical Engineering,2007,18(13):1518-1522. |
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| Authors: | An Peng Yuan Weizheng Zhang Chengliang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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