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模具钢TiAlN和TiAlSiN涂层的制备及性能
作者姓名:路筱歆  胡树兵  姚南  成永健
摘    要:采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术在H13(4Cr5MoSiVl)热作模具钢和Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiAlN和TiAlSiN涂层.通过X射线衍射仪、扫描电镜、划痕仪和电化学工作站等分析了TiAlN和TiAlSiN涂层的微观结构、形貌和综合性能.结果表明:涂层表面较平整致密,截面无明显裂纹、孔洞等缺...

关 键 词:模具钢  高功率脉冲磁控溅射  TiAlN涂层  TiAlSiN涂层
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