全氟碳流体

1引言本章几乎只涉及含碳和氟的饱和化合物，即饱和全氟碳化合物的生产、性能和使用。笔者曾述及具有沸点范围29～160℃的Flutec~TM流体。这个范围现在扩大到260℃。也有气体全氟碳化合物的信息。1．1全氟碳气体主要有商业价值的全氟碳气体有四氟甲烷（CF_4；F－14），通常称为四氟化碳；六氟乙烷（C_2F_6；F－116），及八氟丙烷（C_3F_8；F－218）。这些气体的商业重要性不及CFCS、HCFCs或HFCS，它们的世界总年产量不到sic吨（199）。事实上，直至80年代早期，对这些化合物的商业兴趣还是不高，但随着微电子工业中干蚀（等离子体…