多晶硅产品中磁性物质成分及来源控制

改良西门子法生产多晶硅产品后处理工艺操作中,会引入Fe、Co、Ni、Cr、Zn等成分磁性物质,该磁性物质会随着多晶硅产品进入到下游铸锭工艺中,最终演变成为多晶硅产品中的体金属杂质,影响下游产品质量。目前,国内多数厂家产品中都会检测到磁性物质存在,已经成为一个共性问题,急需解决。