| 膜片式盲小孔测头的设计与研究 |
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| 引用本文： | 杨世民,李书和,韩梅妹,张国雄. 膜片式盲小孔测头的设计与研究[J]. 计量学报, 1998, 19(2): 142-146 |
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| 作者姓名： | 杨世民 李书和 韩梅妹 张国雄 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津,300072
2. 天津理工学院电子系 |
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| 摘 要： | 提出了一种弹性尺寸传递理论，并依此理论研制了膜片式盲小孔测头，以膜片为敏感元件，把测杆视为弹性体。该测头可用于测量０３ｍｍ以上的盲小孔，精度优于１μｍ。
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| 关 键 词： | 盲小孔 膜片 测头 补偿 |
A Study on a Diaphragmatic Probe for Measuring Blind Small Holes |
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| Yang Shimin,Li Shuhe,Han Meimei,Zhang Guoxiong. A Study on a Diaphragmatic Probe for Measuring Blind Small Holes[J]. Acta Metrologica Sinica, 1998, 19(2): 142-146 |
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| Authors: | Yang Shimin Li Shuhe Han Meimei Zhang Guoxiong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Blind small hole Diaphragm Probe Compensation |
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