| 常温下合成金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 刘铁林,刘南林. 常温下合成金刚石薄膜[J]. 真空与低温, 2002, 8(2): 88-89 |
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| 作者姓名： | 刘铁林 刘南林 |
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| 作者单位： | 深圳雷地科技实业公司,广东,深圳,518048 |
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| 摘 要： | 采用射频辉光放电的方法在含CH的混合气体的常温条件下制备了含碳的薄膜 ,通过Raman、XRD和SEM分析 ,检验了薄膜的性质 ,表明此膜含有大量的碳的SP3 键的金刚石成分 ,其晶粒为 10～ 10 0nm ,属于纳米金刚石膜。此膜已在玻璃镜片、塑料和磁盘等商品的保护方面获得了广泛的应用
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 辉光放电 纳米 |
| 文章编号： | 1006-7086(2002)02-0088-02 |
| 修稿时间： | 2001-12-30 |
SYNTHETICS OF DIAMOND THIN FILMS AT ROOM TEMPERATURE |
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| LIU Tie-lin,LIU Nan-lin. SYNTHETICS OF DIAMOND THIN FILMS AT ROOM TEMPERATURE[J]. Vacuum and Cryogenics, 2002, 8(2): 88-89 |
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| Authors: | LIU Tie-lin LIU Nan-lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond films glow discharge nanometer |
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