可分析含水、含油、不导电绝缘样品的环境扫描电子显微镜(ESEM)通过进口验收并开始对外服务 |
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作者单位: | 上海市计量测试技术研究院科研处 |
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摘 要: | 在人类进入廿一世纪的今天 ,人们对常规的扫描电子显微镜 (ScanningElectronMicroscopeSEM )已不陌生 ,SEM已经应用于人类生活的各个方面。然而 ,受仪器原理和结构的限制 ,SEM在遇到不导电样品和含水、含油的样品时就显得无能为力了。近十多年发展起来的环境扫描电子显微镜 (EnvironmentScanningElectronMicroscopeESEM)由于 (1)采用新的多重压差狭缝使真空度为 1~ 2 6 6 0Pa的样品室与仪器的其它高真空部分隔离 ,从而保证ESEM能对含水、含油样品进行…
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