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用电荷模拟法计算液态金属离子源发射系统
引用本文:王小宝,储璇雯.用电荷模拟法计算液态金属离子源发射系统[J].微细加工技术,1987(Z2).
作者姓名:王小宝  储璇雯
作者单位:浙江大学 (王小宝),浙江大学(储璇雯)
摘    要:本文介绍用电荷模拟法计算液态金属离子源发射系统,此方法具有计算精度高,节省机时和程序编制简单且通用性强等优点。使用动态喷嘴状模型,对液态金属离子源发射系统进行了计算,得到了有益的结果。

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