| 有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及光电特性对比研究 |
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| 引用本文： | 杨田林,韩圣浩,张鹏,王爱芳.有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及光电特性对比研究[J].液晶与显示,2004,19(5):329-333. |
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| 作者姓名： | 杨田林 韩圣浩 张鹏 王爱芳 |
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| 作者单位： | 山东大学威海分校空间科学与应用物理系,山东,威海,264209 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.60176021) |
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| 摘 要： | 讨论了在低温条件下制备的ZnO∶Al薄膜的结构、表面形貌和光电特性,对聚酰亚胺(Polyimide,PI)和玻璃两种不同衬底的薄膜进行了比较研究。两种不同衬底的薄膜均为多晶膜,具有六角纤锌矿结构,最佳取向均为(002)方向,衬底温度从室温到210℃时,制备的薄膜密度变化范围为4.6～5.16g/cm3。在柔性衬底和玻璃衬底上制备的薄膜最低电阻率分别为5.3×10-4Ω·cm和5.1×10-4Ω·cm,薄膜在可见光区的平均透过率分别达到了72%和85%,讨论了两种衬底薄膜电学特性的稳定性。
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| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 铝掺杂 薄膜结构 光电性能 射频磁控溅射法 |
| 文章编号： | 1007-2780(2004)05-0329-05 |
| 修稿时间： | 2004年4月23日 |
Construction and Photoelectric Properties of ZnO:Al Films Deposited on Polyimide and Glass Substrates |
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| YANG Tian-lin,HAN Sheng-hao,ZHANG Peng,WANG Ai-fang.Construction and Photoelectric Properties of ZnO:Al Films Deposited on Polyimide and Glass Substrates[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2004,19(5):329-333. |
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| Authors: | YANG Tian-lin HAN Sheng-hao ZHANG Peng WANG Ai-fang |
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