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| 介绍一种实用单晶炉提拉速度控制系统 | |
| 引用本文： | 吕炜,刘勤贤. 介绍一种实用单晶炉提拉速度控制系统[J]. 自动化与仪表, 2001, 16(3): 30-32 |
| 作者姓名： | 吕炜 刘勤贤 |
| 作者单位： | 1. 杭州萧山机场,杭州,310031 2. 浙江工业大学之江学院,杭州,310024 |
| 摘 要： | 本文介绍了玫种实用的单晶硅生产的速度控制系统，该系统具有结构简单、造价低的特点，实测表明，系统的性能满足生产要求，现已投入批量生产。 |
| 关 键 词： | 单晶炉 提拉速度 速度控制系统 单晶硅 |
| 文章编号： | 1001-9944(2001)03-0030-03 |
| 修稿时间： | 2001-02-01 |
Design and Analysis of Speed Control System for Single-crystal Furnace Lifting Mechanism |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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