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| 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制 | |
| 引用本文： | 李煜, 方辉, 谭果, 李军利, 郭健海, 史晔, 何熙, 冯涛, 张海军. 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制[J]. 红外技术, 2017, 39(9): 785-793,797. |
| 作者姓名： | 李煜 方辉 谭果 李军利 郭健海 史晔 何熙 冯涛 张海军 |
| 作者单位： | 1.北方广微科技有限公司;2.昆明物理研究所 |
| 摘 要： | 研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器.读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)电流差的积分电流(Iint),并能够有效抑制输入偏压噪声;同时采用逐行积分、逐列读出模式.氧化钒采用单层微桥工艺;像元桥臂间距缩至0.8μm,以尽可能增大桥面及VOx面积,有效提高像元响应率.器件采用高可靠性的金属真空封装.测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 mK,响应率大于15 mV/K,热响应时间小于10 ms. |
| 关 键 词： | 非制冷 红外焦平面 氧化钒 读出电路 |
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