| SOI基光学电流传感器的设计与仿真 |
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| 引用本文： | 赵本刚,刘玉菲,穆参军,徐静,吴亚明.SOI基光学电流传感器的设计与仿真[J].光电子．激光,2006,17(12):1447-1452. |
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| 作者姓名： | 赵本刚 刘玉菲 穆参军 徐静 吴亚明 |
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| 作者单位： | 1. 中科院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中科院研究生院,北京,100039
2. 中科院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 摘 要： | 将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100~3600A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB/A,温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0.2%。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 光学电流传感器(OCS) 绝缘体上的Si(SOI) 扭转微镜 温度补偿 |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）12-1447-06 |
| 收稿时间： | 2006-04-17 |
| 修稿时间： | 2006-04-172006-06-15 |
Design and Simulation of Optical Current Sensor Based on SOI |
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| ZHAO Ben-gang,LIU Yu-fei,MU Can-jun,XU Jing,WU Ya-ming.Design and Simulation of Optical Current Sensor Based on SOI[J].Journal of Optoelectronics·laser,2006,17(12):1447-1452. |
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| Authors: | ZHAO Ben-gang LIU Yu-fei MU Can-jun XU Jing WU Ya-ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-electronic mechanics system(MEMS) optical currrent sensor(OCS) silicon on insulator(SOI) torsional micro-mirror temperature compensation |
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