透射电子显微学的新进展ⅡZ衬度像、亚埃透射电子显微学、像差校正透射电子显微学

本文综述了原子分辨率的原子序数衬度成像与原位电子能量损失谱分析、亚埃透射电子显微学、像差校正透射电子显微学和材料的微观结构表征与原位性能测试的最新发展和应用。在配置球差校正器、单色器和高能量分辨率过滤器的FEGTEM／STEM中，用相位衬度像／Z衬度成像与原位电子能量损失谱分析方法，在亚埃的空间分辨率和亚电子伏特能量分辨率下，可以研究各种材料的原子尺度界面和缺陷的原子和电子结构、价态、成键和成分等。配置球差校正器后，可明显提高透射电镜的点分辨率，把点分辨率延伸到信息分辨率，同时显著减小村度离住。随意改变球差系数Cs和离焦值△f，像差校正透射电子显微镜可提供新的成像模式。把特殊的样品杆插入电镜后，可把扫描隧道显微镜(STM)或原子力显微镜(AFM)功能相结合，开展材料的显微结构表征与原位的性能测试，不仅能得到物质的与显微像、成分、衍射有关的信息，同时还可以测量电学、力学性能，也可以研究在外场(温度、应力、电和磁场)作用下材料微观结构演变及结构与性能间的关系。