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磁控共溅非晶态合金的形成

引用本文：	陈清明,范毓殿.磁控共溅非晶态合金的形成[J].薄膜科学与技术,1990,3(1):1-9.

作者姓名：	陈清明范毓殿

摘要：
关键词：	磁控共溅非晶态合金薄膜
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