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高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证
引用本文:田艳兵,王涛,王美玲.高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证[J].机床与液压,2015,43(5):63-67.
作者姓名:田艳兵  王涛  王美玲
作者单位:1. 青岛理工大学自动化工程学院,山东青岛,266520
2. 北京理工大学自动化学院,北京,100083
基金项目:流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金项目(JZKF-201214)
摘    要:为了提高精密定位平台的精度和行程,设计了一种新型的气动伺服定位平台。以金属波纹管为独立执行机构,采用有限元法设计了气浮导轨。以气浮导轨支撑,研究无摩擦条件下的较大行程的精密控制。对波纹管的机械特性进行分析,结合实验数据形成的迟滞初载曲线,进行参数辨识,确定基本迟滞算子的阈值和权值,建立了基于PI模型的系统迟滞模型,并对模型进行了验证。结合建立的系统迟滞模型,采用变化速率为0.5 V/s和5 V/s的锯齿波进行实验,结果表明:系统的迟滞模型输出很好地逼近了系统输出;开环情况下,实际逼近误差慢速信号输入逼近小于10%m,快速信号输入逼近小于20%m,其性能上能够满足高精密定位平台的精度要求。

关 键 词:高精密定位平台  波纹管  迟滞特性  精度

Hysteresis Modeling and Verification of Pneumatic Bellows in High-precision Positioning Stage
TIAN Yanbing , WANG Tao , WANG Meiling.Hysteresis Modeling and Verification of Pneumatic Bellows in High-precision Positioning Stage[J].Machine Tool & Hydraulics,2015,43(5):63-67.
Authors:TIAN Yanbing  WANG Tao  WANG Meiling
Affiliation:TIAN Yanbing;WANG Tao;WANG Meiling;Automation Engineering College,Qingdao Technological University;Automation College,Beijing Institute of Technology;
Abstract:
Keywords:High-precision positioning stage  Bellows  Hysteresis  Accuracy
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