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| 氩注入砷化镓中的高分辨电镜观察 | |
| 作者姓名： | 朱健 徐景阳 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 基金项目： | 浙江大学高纯硅国家重点实验室基金和国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 氩注入砷化镓中的高分辨电镜观察朱健，徐景阳（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）本工作用截面法制备电镜试样，在高分辨电子显微镜中观察到１７０ＫｅＶ能量的氩注入砷化镓中的精细结构。由于注入的惰性气体不固溶于砷化镓，它以高压泡形式存在，泡中还有气... |
| 关 键 词： | 砷化镓 半导体材料 氩 注入 电子显微镜 |
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