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| 利用金属-有机化学气相沉积形成碳纤维的方法 | |
| 作者单位： | 韩国三星电子株式会社; |
| 摘 要： | 本发明提供一种在低于450℃的低温下利用有机-金属蒸发法形成碳纤维的方法。该形成碳纤维的方法包括:在将基底装入反应室中之后,加热该基底并将基底保持在200～450℃的温度下;制备含Ni的有机金属化合物;通过蒸发该有机金 |
| 关 键 词： | 有机金属化合物 化学气相沉积 反应室 形成 基底 碳纤维 方法 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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