| Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法 |
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| 引用本文： | 李亚磊,邓新绿,徐军. Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(6): 459-462 |
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| 作者姓名： | 李亚磊 邓新绿 徐军 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 |
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| 摘 要： | 本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术--采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器--利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器--两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音.上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案.
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| 关 键 词： | Langmuir探针 抗干扰 信噪比 I-V特性曲线 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）06-0459-04 |
| 收稿时间： | 2005-01-19 |
| 修稿时间： | 2005-01-19 |
Noise Elimination of Plasma Diagnostics with Langmuir Probe |
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| Li Yalei,Deng Xinlu,Xu Jun. Noise Elimination of Plasma Diagnostics with Langmuir Probe[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(6): 459-462 |
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| Authors: | Li Yalei Deng Xinlu Xu Jun |
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| Affiliation: | State Key Laboratory for Materials Modification by Electron, Ion and Laser Beams, Dalian Uiversity of Technolosy, Dalian, 116024, China |
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| Abstract: | To eliminate perturbation and noises in diagnosing plasma with Lanmuir probe, different techniques, including adoption of either an integrate-and-dump circuit, or a cascade filter, or differential amplifiers, were tentatively reviewed with discussion focused on solution of realistic problems in plasma diagnosis. |
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| Keywords: | Langmuir probe Noise elimination Signal-to-noise ratio I-V characteristics curve |
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