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超微粒子气敏膜的制备
作者姓名:孙承松 李云鹏
作者单位:沈阳工业大学(孙承松),沈阳工业大学(李云鹏)
摘    要:文中介绍用高频溅射方法制备了超微粒子气体敏感膜,研究了工艺参数对气敏膜的质量、性能的影响,并对气敏膜进行了测试,给出了试验曲线。

关 键 词:微粒子 气敏膜 气体泄漏 检测 报警
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