| 衬底温度对纳米晶SnO_2薄膜结晶特性的影响 |
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| 引用本文： | 王占和,蒋耘晨,祝侃. 衬底温度对纳米晶SnO_2薄膜结晶特性的影响[J]. 微纳电子技术, 2002, 39(4): 19-21 |
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| 作者姓名： | 王占和 蒋耘晨 祝侃 |
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| 作者单位： | 北京理工大学电子工程系,北京,100081 |
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| 摘 要： | 阐述了金属氧化物SnO2纳米薄膜研究的发展情况及其应用前景,介绍了采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150～400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2∶Sb透明导电薄膜。通过测定x射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向,SnO2∶Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 纳米晶 SnO2薄膜 结晶特性 FE-SEM |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)04-0019-03 |
| 修稿时间： | 2001-11-13 |
Influence of substrate temperature of nanocrystalline SnO2 thin films |
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| WANG Zhan-he,JIANG Yun-chen,ZHU Kan. Influence of substrate temperature of nanocrystalline SnO2 thin films[J]. Micronanoelectronic Technology, 2002, 39(4): 19-21 |
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| Authors: | WANG Zhan-he JIANG Yun-chen ZHU Kan |
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| Abstract: | Nanocrystalline transparent conducting thin films is made by the method of the direct current magnetron sputtering in a mixture gas of Ar and O 2 ,and substrate temperature150～400℃.The films showed preferred orientation inandplane by x-ray diffraction.The crystalline properties of nanocrystalline SnO 2 ∶Sb thin films depends on the substrate temperature is discussed. |
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| Keywords: | magnetron sputtering nanocrystalline SnO 2 thin films crystalline properties FE-SEM |
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