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| CD-R和DVDR盘片的沟槽形貌检测 | |
| 引用本文： | Rolf W．Hertling,杨波.CD-R和DVDR盘片的沟槽形貌检测[J].记录媒体技术,2005(4). |
| 作者姓名： | Rolf W．Hertling 杨波 |
| 摘 要： | 几种不同的检测方法 对CD-R和DVDR盘片的生产而言,了解盘片上预 刻槽的几何形貌参数(深度和宽度)是非常重要的。目 前,存在三种完全不同的方法来检测这类参数,它们 是:原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM) 测量;衍射级次的评价(例如Steag ETA Optik公司的 ETA-FI检测仪就是基于该原理而进行检测的);对零级 |
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