| 厚度与工作温度对TiO2薄膜气敏性能的影响 |
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| 引用本文： | 王锡铭,张俊英,丛亮,王天民.厚度与工作温度对TiO2薄膜气敏性能的影响[J].功能材料,2008,39(8). |
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| 作者姓名： | 王锡铭 张俊英 丛亮 王天民 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学,理学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 采用浸渍提拉法工艺在印制有金电极的Al2O3基片上制备了TiO2薄膜,并对不同厚度及工作温度下TiO2薄膜的气敏性能作了研究.结果显示,当TiO2气敏薄膜的工作温度一定时,存在一个最佳厚度,在该厚度下TiO2薄膜对H2具有最佳的气敏响应;当TiO2薄膜的厚度一定时,TiO2薄膜存在一个最佳工作温度,在该温度下TiO2薄膜对H2的气敏响应最为灵敏.XPS测试表明,TiO2薄膜经过H2氛围后,薄膜中吸附氧含量降低.利用TiO2薄膜表面吸附氧与H2的反应、薄膜对H2的吸附与脱附理论、电子的迁移等过程较为合理地解释了TiO2薄膜对H2的气敏响应.
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 厚度 灵敏度 气敏性能 |
Effect of thickness and working temperature on sensitivity of TiO2 thin film |
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| WANG Xi-ming,ZHANG Jun-ying,CONG Liang,WANG Tian-min.Effect of thickness and working temperature on sensitivity of TiO2 thin film[J].Journal of Functional Materials,2008,39(8). |
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| Authors: | WANG Xi-ming ZHANG Jun-ying CONG Liang WANG Tian-min |
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