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| 声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究 | |
| 引用本文： | 李淑红,赵启大,廖同庆,廖继平.声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究[J].压电与声光,2009,31(4). |
| 作者姓名： | 李淑红 赵启大 廖同庆 廖继平 |
| 作者单位： | 1. 南开大学,现代光学研究所,天津300071;天津工业大学,理学院,天津,300160 2. 南开大学,现代光学研究所,天津300071 3. 南开大学,现代光学研究所,天津300071;安徽大学,计算智能与信号处理教育部重点实验室,安徽,合肥,230039 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，天津市科技发展计划科技攻关基金 |
| 摘 要： | 理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响.分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响.提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式. |
| 关 键 词： | 声表面波 敏感薄膜 最佳薄膜厚度 |
Study on the Thickness of Sensitive Layer of Surface Acoustic Wave Gas Sensor |
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| LI Shu-hong,ZHAO Qi-da,LIAO Tong-qing,LIAO Ji-ping.Study on the Thickness of Sensitive Layer of Surface Acoustic Wave Gas Sensor[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(4). | |
| Authors: | LI Shu-hong ZHAO Qi-da LIAO Tong-qing LIAO Ji-ping |
| Abstract: | Influence of sensitive layer of surface acoustic wave sensor on the sensitivity of system was researched theoretically. Total influence of gas concentration, thickness and density of sensitive layer to the sensitivity of system was also analyzed. Then the idea of optimization of the layer thickness was proposed and the corresponding formulas were presented. |
| Keywords: | surface acoustic wave sensitive layer optimal layer thickness |
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