| 高灵敏度室温锑化铟红外探测器研制 |
| |
| 引用本文： | 付安英,马睿,薛三旺.高灵敏度室温锑化铟红外探测器研制[J].现代电子技术,2007,30(2):182-183,191. |
| |
| 作者姓名： | 付安英 马睿 薛三旺 |
| |
| 作者单位： | 国营795厂,陕西,咸阳,712099 |
| |
| 摘 要： | 通过对室温工作的光导型锑化铟红外探测器的设计与工艺研究,在理论分析和工艺实验的基础上,优选制造灵敏元的材料,精心设计探测器的光学系统,改进制造工艺,实现对灵敏元精密腐蚀的有效控制等。研制成功的电压响应率达103V/W,黑体探测率达1010cm.Hz1/2.W-1左右,光谱响应范围2~8μm,响应时间≤2×10-8s的高性能、高稳定、高可靠器件。
|
| 关 键 词： | 室温 锑化铟 探测器 高灵敏度 |
| 文章编号： | 1004-373X（2007）02-182-02 |
| 收稿时间： | 2006-06-29 |
| 修稿时间： | 2006-06-29 |
Research of High Sensitivity InSb IR Detector |
| |
| FU Anying,MA Rui,XUE Sanwang.Research of High Sensitivity InSb IR Detector[J].Modern Electronic Technique,2007,30(2):182-183,191. |
| |
| Authors: | FU Anying MA Rui XUE Sanwang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ambient temperature InSb detector high sensitivity |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
