憎水性二氧化硅膜的制备及其气体分离性能研究

采用甲基三乙氧基硅烷（MTES）通过溶胶-凝胶法制备了憎水性SiO2膜并进行了气体分离实验．实验结果表明，随着MTES的加入，接触角从32．76°增大到改性后的98．16°，在潮湿空气中放置90天，膜的憎水性仍能够保持；MTES／TEOS-0．8时，薄膜的憎水性可以保持到400℃．气体渗透实验表明，在0．1MPa下，循环焙烧3次后N2的渗透通量为0．44×10^-7mol．m^-2·Pa^-1·s^-1，CO2的渗透通量为0．45×10^-7mol·m^-2·Pa^-1·s^-1，H2的渗透通量为1．90×10^-1mol·m^-2·Pa^-1·s^-1．H2／N2的分离因子为4．32，H2／CO2的分离因子为4．22，焙烧3次后气体渗透已经有了超越努森扩散机理的趋势，膜孔结构比较稳定，所制SiO2膜具有较好的耐水汽性能．

STUDY ON THE PREPARATION AND GAS SEPARATION PERFORMANCE OF HYDROPHOBIC SILICA MEMBRANES